日本愛發(fā)科（ULVAC）的真空泵類型及用途如下：

一、主要類型

?羅茨真空泵?

代表型號：NB 100A

特點：腔體無潤滑油，適用于水蒸氣、溶劑等氣體；高吸入壓強下可穩(wěn)定運轉(zhuǎn)?

?油旋片式真空泵?

代表型號：GLD-N202

特點：低震動、低噪音，適合半導(dǎo)體鍍膜等精密工業(yè)場景?

?膜片干式真空泵?

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代表型號：DAU-20D

特點：高真空度（0.67Pa），適用于高真空環(huán)境?

?螺桿式干式真空泵?

代表型號：MS1200A/LS1200A

特點：防腐蝕設(shè)計，適合化學(xué)腐蝕性氣體處理?

?兩級排氣真空泵?

代表型號：GLD-040

特點：壓力更低（真空度好），具備防回流機制和穩(wěn)定排氣速度?

二、用途

?半導(dǎo)體與電子制造?：鍍膜、濺射、液晶注入等工藝?

?真空熱處理?：燒結(jié)爐、釬焊爐等高溫環(huán)境?

?干燥與脫氣?：冷凍干燥、真空脫氣等工業(yè)流程?

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?分析儀器與檢漏?：CO?激光設(shè)備、檢漏設(shè)備等精密場景?

?實驗室與科研?：高真空實驗、設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)檢測等?