KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 MU300PE

KASHIYAMA（樫山工業(yè)）是日本的真空設(shè)備制造商，其干式真空泵以無油運行、耐腐蝕設(shè)計及低維護成本為核心優(yōu)勢，廣泛應用于半導體、化工、制藥等對潔凈真空要求嚴苛的領(lǐng)域。

KASHIYAMA樫山工業(yè) 干式真空泵 MU300PE

核心技術(shù)特性
無油干式技術(shù)
螺桿式/爪式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)：
通過精密嚙合轉(zhuǎn)子實現(xiàn)氣體壓縮，全程無潤滑油，避免油蒸氣污染（適合敏感工藝如晶圓加工）。
抽速范圍 10~1,500 m3/h，極限真空 0.1 Pa（0.001 mbar）。
耐腐蝕設(shè)計：
轉(zhuǎn)子與腔體采用不銹鋼鍍層或陶瓷涂層，耐受酸性氣體（如HCl、Cl?）和顆粒物。
節(jié)能高效：
變頻驅(qū)動（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，能耗較油封泵降低30%~50%。
智能控制與監(jiān)控
實時參數(shù)顯示：真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)通過觸摸屏或遠程接口（Modbus/以太網(wǎng)）輸出。
自診斷系統(tǒng)：振動、溫度傳感器預警異常（如過載或異物進入），自動停機保護。
典型應用場景
半導體與電子
晶圓制造：CVD/PVD設(shè)備抽真空，避免油污染（需Class 1000潔凈環(huán)境）。
LED封裝：固晶機、焊線機的無油真空吸附。
化工與制藥
溶劑回收：抽除揮發(fā)性有機物（VOCs），配套冷凝器實現(xiàn)回收。
凍干機：藥品凍干工藝中的無油真空保障（符合GMP要求）。
新能源
鋰電池干燥：極片烘箱抽濕，露點≤-40℃。