EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT2400M
EBARA荏原 渦輪分子泵 EMT2400M
渦輪分子泵是一種高真空泵,利用高速旋轉的渦輪葉片與氣體分子碰撞,將氣體分子從進氣口推向排氣口,從而實現(xiàn)高真空的獲取。它由德國物理學家貝克(W. Becker)于1958年發(fā)明,是現(xiàn)代高真空和高真空技術中的核心設備。渦輪分子泵通常與前置泵(如干式泵或旋片泵)結合使用,以在寬壓力范圍內實現(xiàn)高效抽氣。渦輪分子泵以其高真空性能、無油污染和高效抽氣的特點,成為現(xiàn)代高真空和高真空技術中不可或缺的關鍵設備。它在半導體制造、科學研究、航空航天和光學鍍膜等領域發(fā)揮著重要作用。隨著技術的不斷進步,渦輪分子泵正朝著更高效率、更智能化和更環(huán)保的方向發(fā)展,為未來高科技產業(yè)提供更強大的支持。
渦輪分子泵特點
高轉速:渦輪分子泵的轉子轉速通常高達每分鐘數(shù)萬轉,甚至過10萬轉,以確保氣體分子能夠被有效捕捉和排出。
無油污染:與油封式真空泵不同,渦輪分子泵在運行過程中無需油液潤滑,避免了油蒸氣對真空環(huán)境的污染,特別適合高潔凈度要求的應用。
寬壓力范圍:渦輪分子泵能夠在高真空(10^-3 Pa至10^-10 Pa)范圍內高效工作,與前置泵配合可實現(xiàn)從大氣壓到高真空的抽氣。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎設施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環(huán)保設備及能源系統(tǒng)等領域,產品以高可靠性、節(jié)能性和*技術聞名全球。
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