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LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5100L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5100L
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過(guò)程控制的核心組件,MFC通過(guò)將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分(PID)控制電路集成于一體,實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制,典型控制精度可達(dá)±0.5%~±1.0%滿量程(FS)。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào),反饋調(diào)節(jié)控制閥的開度,以此進(jìn)行流量的控制。
心技術(shù)架構(gòu)
傳感系統(tǒng):
熱式傳感:基于King's Law原理,采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計(jì),溫度分辨率達(dá)0.01℃
壓差式傳感:基于層流元件和壓差傳感器組合,適用于大流量范圍(0.1-5000SLM)
科里奧利式:直接質(zhì)量測(cè)量,精度可達(dá)±0.1%讀數(shù)
溫度 | *小壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *F.S. | 密封件 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
氣體隔膜隔離閩體及驅(qū)動(dòng)裝置,極大地減小閉死容積。這些特殊設(shè)計(jì),可以增強(qiáng)氣體的流通,降低污染物影響,使設(shè)備具備高澄換性,保證更長(zhǎng)的使用壽命,也更適合于液化氣體等優(yōu)勢(shì)。
關(guān)鍵性能指標(biāo)
參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)高性能型號(hào)
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復(fù)性±0.2% FS±0.1% FS
響應(yīng)時(shí)間<1s<300ms
工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa
溫度系數(shù)±0.05%/℃±0.01%/℃
LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。憑借過(guò)半個(gè)世紀(jì)的技術(shù)積累與創(chuàng)新,LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應(yīng)商,以*的產(chǎn)品質(zhì)量和*的解決方案聞名。
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