ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 ES10-LR180
ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 ES10-LR180
多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。
在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域,需要更清潔的真空,并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。
“Model:ECO-SHOCK”是一個劃時代的附件,當(dāng)連接到您當(dāng)前的干式真空泵時
,它可以顯著節(jié)省干泵的能源。
長處
有助于節(jié)能將干式真空泵的功耗降低
高達 80%(與本公司相比),
還具有抑制干泵發(fā)熱的作用,可降低空調(diào)設(shè)備的功耗。
* 不能用于排放易燃、易燃、有毒氣體等的泵。
提高干泵的性能提高極限壓力性能降低
排氣噪音降低排氣速度在連續(xù)運行時間不過
1000 Pa 的應(yīng)用中實現(xiàn)
高效率
*可安裝在排氣口抽真空沒有問題的干泵上。
易于安裝
用
干式真空泵用于抽空空氣、氮氣和氬氣等惰性氣體
用于濺射制備室和取出室的干式真空泵
型 | ES10 系列 | ES4A 系列 | |||
權(quán)力 | 規(guī)范 | 單相 AC100V-220V 50/60Hz | 單相 AC200V~220V±5% 50/60Hz | ||
功耗 | 65W *1 | 400瓦 | |||
控制 | 輸入 | 遠程啟動/停止(觸點 24V 直流電壓) 觸點容量:準(zhǔn)備 2.0A 或更高的非電壓觸點。 *2 | |||
輸出 |
過流報警輸出(觸點無電壓) 觸點容量:DC24V 1.0A |
啟動確認、節(jié)能確認、主機報警、 過流報警 |
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指示 | 顯示行駛時間 |
動作時間、啟動確認、節(jié)能確認、 主機警報、過流警報 |
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外形尺寸 | 主機 | 175 毫米 x 330 毫米 x 240 毫米 | 250 毫米 x 475 毫米 x 373 毫米 | ||
閥單元 | Φ66mm x 110mm(凈重40) *3 | 它是可選的。 | |||
質(zhì)量 | 本體單位:9.2 公斤 閥門單位:800 克 | 32 公斤 | |||
連接 | 連接端口 |
已安裝 G1/4“(入口、出口) 連接器 |
Φ16mm 管接頭 ( 1.5m 或更?。? |
ULVAC(愛發(fā)科)是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè),ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域,為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。
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