多級(jí)羅茨型干泵

多級(jí)羅茨干式真空泵是在真空室中不使用油或液體的機(jī)械真空泵。
在FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高良率和可維護(hù)性。*代表性的泵是羅茨式干真空泵。

多級(jí)羅茨式干真空泵在稱為外殼的盒子內(nèi)有兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子，它們通過一對(duì)齒輪以相同頻率沿相反方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子彼此不接觸，或者轉(zhuǎn)子與殼體不接觸，并且在保持小間隙的同時(shí)旋轉(zhuǎn)以傳送和壓縮氣體。轉(zhuǎn)子具有多級(jí)結(jié)構(gòu)，將其壓縮至大氣壓，并將其排放到大氣中。轉(zhuǎn)子外殼內(nèi)不使用油或其他密封液體，可實(shí)現(xiàn)清潔排氣。齒輪和軸承使用油進(jìn)行潤滑，但設(shè)計(jì)了密封結(jié)構(gòu)以防止油進(jìn)入殼體。

通過高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵。