日本ULVAC愛發(fā)科適用裝載/卸載室多級羅茨型干泵 Model:GR180A北崎熱賣

發(fā)布時(shí)間：2025/08/19 11:57:03 發(fā)布廠商：北崎國際貿(mào)易（北京）有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)

多級羅茨型干泵Model:GR

干泵"Model:GR"是以獲得良好業(yè)績和信賴的"Model:LR/HR"為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡單結(jié)構(gòu)的泵。

GR60
GR90
GR180

特點(diǎn)

可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域，可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。
適用load lock室（裝載/卸載室），可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。
感應(yīng)電機(jī)可通用
可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）
采用多電壓兼容電機(jī)

用途

空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣
真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)
真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充

規(guī)格

型號			GR60A	GR90A	GR180A
*排氣速度	50Hz	m³/h(L/min)	62(1030)	112(	)
	60Hz	m³/h(L/min)	80(1333)	126(2100)	237(3850)
極限壓力 *1		Pa	5.0
*排氣壓力（吸入圧力）			大氣壓
*排氣口壓力（排出圧力）		Pa	1.0 ~ 大氣壓
吸氣口			VG50	VG80
排氣口			NW40
DRP表面處理			〇
電機(jī)	輸出 [kW]		2.2	3.7	7.5
	電壓 [V]	50Hz	200~240/380~415
		60Hz	200~240/380~460
質(zhì)量		kg	128	188	268
冷卻方式	冷卻水一次供給壓力	MPa	0.1~0.3
	冷卻水出入口壓差	MPa	>0.1
	冷卻水溫度	℃	10~30 *2
	冷卻水流量	L/min	>5.0
氮?dú)?/td>	一次側(cè) 供給圧力	MPa	0.1~0.5
	二次側(cè) 調(diào)整圧力 *3	MPa	0.05 to 0.1 (運(yùn)作時(shí))
	軸	SLM	5.0 *4

*1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體）為5.0 SLM時(shí)的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣體）的流量固定為5.0SLM。

配件

型號		材質(zhì)	表面處理	重量(kg)	法蘭接口	GR60A	GR90A	GR180A
消音器	RS-01+ 套件A	SUS304	GBB處理	4.1	KF40	〇	〇	-
消音器	RS-01+ 套件C	SUS304	GBB處理	8.3	KF40	-	-	〇

排氣速度曲線

尺寸圖

GR60	GR90A
GR180

多級羅茨型干泵 Model:GR

日本ULVAC愛發(fā)科

愛發(fā)科多級羅茨型干泵

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日本ULVAC愛發(fā)科適用裝載/卸載室多級羅茨型干泵 Model:GR180A北崎熱賣

多級羅茨型干泵Model:GR

特點(diǎn)

用途

規(guī)格

配件

排氣速度曲線

尺寸圖